电子探针X射线微量分析

取自 食品百科全书

[中文]: 电子探针X射线微量分析

[英文]: electron probe X-ray microanalysis;EPXMA

[说明]: 又称电子微探针法。是用一窄束（直径小于1微米）经过聚焦的电子激发固体试样表面产生的X射线，再用一波长或能量色散能谱仪加以检测和分析的方法。该法可提供许多关于表面物理和化学性质的定性和定量的信息。它在冶金和水泥的相研究、合金中颗粒边界的研究、半导体中杂质扩散速率的测定经及多相催化剂活性中心的研究方面都有重要的应用。