加速度传感器

取自 食品百科全书

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加速度传感器,包括由硅膜片、上盖、下盖,膜片处于上盖、下盖之间,键合在一起;一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上,并采用压焊工艺引出导线;并把一维或二维纳米材料连接成测量电桥;所述的信号处理电路包括:整流稳压电路、载波振荡器、测量电桥和交流载波放大器。加速度(力)信号作用在质量块上,使膜片发生应变,利用膜片上的纳米材料测出应变,利用全桥检测方法,将材料应变转化为电信号,再通过一系列的信号处理过程,从而得到被测加速度信号的数值。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度,并可进行批量生产。

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