[中文]: 离子镀
[英文]: ion plating
[说明]: 是物理蒸发沉积之一。借助于一种惰性气体(一般为氩气)的辉光放电使蒸发了的金属或合金蒸气离子化;离子经电场加速而沉积在带负电荷的基体(工件)上,惰性气体的压力为0.133-1.33帕(10-2-10-3托),所加电压在500-2000伏。在膜层沉积过程中,工件受到氩离子的冲击、溅射以清除工件表面的污物。
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